Тестер химико-механической полировки CP-5000 для анализа CMP процессов
CP-5000 — это современный тестер химико-механической полировки (CMP), предназначенный для анализа процессов полировки с использованием встроенного датчика трения и интегрированного 3D-профилометра. Прибор обеспечивает нанометровую точность анализа изменений поверхности, позволяя исследовать механизмы износа, трения и дефектов в режиме реального времени. Идеально подходит для исследований в области полупроводников и тонкоплёночных материалов.
LabEco Technology — поставщик лабораторного оборудования в Алматы, работающий по всему Казахстану. Компания предлагает современные решения для анализа материалов, включая подбор оборудования, консультации и внедрение технологий для научных и промышленных лабораторий.
Обзор CMP тестера
CP-5000 позволяет проводить исследования процессов полировки с высокой точностью за счет контроля прижимной силы, скорости и подачи суспензии. Система объединяет несколько режимов полировки на одной платформе, включая широкий диапазон скоростей, замкнутый контур управления нагрузкой и автоматическую подачу абразивной суспензии. Встроенный профилометр позволяет анализировать изменения поверхности непосредственно в процессе испытаний.
Основные характеристики
| Измерение коэффициента трения в реальном времени |
| Контроль прижимной силы и скорости |
| Интегрированный 3D-профилометр |
| Поддержка различных размеров пластин (wafer) |
| Контроль температуры и акустического сигнала в процессе |
Ключевые особенности
| Высокоточные датчики силы и контроль нагрузки |
| Держатель кондиционера с автоматическим выравниванием |
| Моторизированный стол XY с быстрой заменой образцов |
| Простое управление и готовые тестовые протоколы |
| Возможность создания пользовательских сценариев испытаний |
Система датчиков
Тестер оснащён встроенными датчиками для анализа процесса полировки в режиме реального времени. Датчики крутящего момента позволяют точно определять окончание процесса, акустические сигналы помогают выявлять дефекты, а температурные датчики контролируют условия обработки поверхности.
Интегрированный 3D профилометр
Встроенный профилометр обеспечивает анализ поверхности с нанометровым разрешением. Поддерживаются режимы конфокальной микроскопии, интерферометрии, темного и светлого поля. Это позволяет анализировать шероховатость, износ и геометрию поверхности непосредственно в процессе испытаний.
Pad 1 Surface
Pad 2 Complete Bump Feature
3D Surface Change vs Test Runs
Применение
CP-5000 используется в полупроводниковой промышленности, микроэлектронике, производстве покрытий и научных исследованиях. Прибор помогает оптимизировать процессы полировки, повысить качество поверхности и снизить количество дефектов при производстве.