Производитель: Thermo Fisher Scientific, США

Thermo Scientific™ Phenom XL G2 — настольный сканирующий (растровый) электронный микроскоп (СЭМ) для анализа и контроля качества. Автоматизация, быстрый цикл загрузки образцов и интуитивный интерфейс делают его идеальным для исследовательских и промышленных применений.

Технические характеристики

Оптическое увеличение 3–16x
Электронное увеличение 160–200,000x
Напряжение ускорения 5, 10, 15 кВ (расширенный режим: 4,8–20,5 кВ)
Разрешение <10 нм
Детекторы Стандартный BSD, вторичные электроны (SED), EDS для элементного анализа
Форматы изображений JPEG, TIFF, PNG, разрешение до 7680 x 4800 пикселей
Размер образца До 100 x 100 мм, высота до 40 мм (опционально до 65 мм)
Скорость загрузки образца Оптическое <5 с, электронное <60 с
Рабочая станция SSD-накопитель, компьютеризированный моторизованный стол по X и Y
Вакуумная система Низкий, средний и высокий уровень вакуума

EDS (энергодисперсионный спектрометр)

  • SDD-детектор с термоэлектрическим охлаждением
  • Активная площадь: 25 мм²
  • Энергетическое разрешение: Mn Kα ≤132 эВ
  • Диапазон элементов: от B до Am
  • Интеграция с интерфейсом Phenom, многоканальный анализатор 2048 каналов
  • Экспорт данных: CSV, JPG, TIFF, ELID, EMSA; отчеты в .doc

Вторичный электронный детектор (SED)

  • Тип: Everhart Thornley
  • Автоматизированные движения: Z, R, T, x’
  • Угол наклона: -15° до +90°; вращение: 360°

Картирование и линейное сканирование

  • Создание индивидуальных карт и смешанных изображений
  • Выбор прямоугольной области любой величины
  • Разрешение картирования: 32 x 20 до 960 x 600 пикселей
  • Время задержки пикселя: 1–500 мс
  • Разрешение линейного сканирования: 16–512 пикселей
  • Время задержки линейного сканирования: 10–500 мс
  • Отчеты в формате .docx

Особенности Phenom XL G2

  • Полностью автоматизированная работа, быстрый цикл получения изображений (~40 с)
  • Интерактивный пользовательский интерфейс с интуитивной навигацией
  • Анализ крупногабаритных образцов до 100 x 100 мм
  • Поддержка дополнительных приложений ProSuite: ParticleMetric, PoroMetric, FiberMetric, 3D Roughness Reconstruction
  • Высокопроизводительная визуализация с четким химическим контрастом