Описание
Helios 5 DualBeam от Thermo Scientific представляет собой мощную систему, объединяющую возможности растровой электронной микроскопии (SEM) и фокусированного ионного пучка (FIB). Это идеальное решение для нанотехнологических исследований, создания тонких срезов, подготовки TEM-образцов и 3D-реконструкции микро- и наноструктур.
Прибор оснащен Schottky Field Emission Gun (FEG) SEM, обеспечивающим высокое разрешение при низком напряжении, и Ga+ FIB, позволяющим прецизионную обработку материалов на субнанометровом уровне. Встроенные функции AutoTEM 5 и EasyLift автоматизируют процесс подготовки образцов для трансмиссионной электронной микроскопии (TEM).
Современная технология TruSight™ улучшает качество изображений, минимизируя зарядку образца, а встроенная EDX-анализ система расширяет аналитические возможности прибора.
Технические характеристики:
- Электронный источник: Schottky FEG
- Разрешение SEM: до 0,6 нм при 30 кВ
- Ионный источник: Ga+ FIB
- Минимальный размер ионного пятна: <2,5 нм
- Напряжение ускорения: 500 В – 30 кВ (SEM), 2 – 30 кВ (FIB)
- Дополнительные опции: AutoTEM 5, EasyLift, EDX-анализ, TruSight™
Helios 5 DualBeam — это мощный инструмент для полупроводниковых исследований, материаловедения, нанотехнологий и подготовки образцов для TEM, обеспечивающий высочайшее качество анализа и обработки на нанометровом уровне.